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    微射流陣列冷卻熱沉

    2006年 應用技術
    • 成果簡介
    微射流陣列冷卻熱沉,屬于微電子技術領域,涉及一種冷卻裝置。本發明包括有依次封裝在一起的過流片,射流入口腔片,射流噴嘴片,射流出口片,傳熱片;過流片上開有進液口和出液口;射流入口腔片上設有射流入口腔、進液孔和出液孔:射流噴嘴片上設有與射流入口腔和設置在射流出口腔片上的射流出口腔相通的射流噴嘴,連通進液孔和射流入口腔的進液導流通道,連通出液孔和射流出口腔的出液導流通道;射流出口腔片上設有射流出...

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