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    超聲霧化熱分解法制備釔系高溫超導長帶的裝置

    2006年 應用技術
    • 成果簡介
    超聲霧化熱分解法制備釔系高溫超導長帶的裝置屬于超導材料技術領域,包括有輸入氣體到質量流量控制儀的氬氣瓶、氧氣瓶,從質量流量控制儀輸出氣體到沉積室、霧化室,與霧化室相連的超聲源,固定在沉積室上的移動部件,驅動移動部件的電機,與沉積室連接的控溫儀,與質量流量控制儀連接的流量顯示儀。其特征在于利用了通用超聲波加濕器電控部件組成超聲源,霧化室固定在超聲源的機殼上方,霧化室載氣入口方向為其側壁的切線...

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