集成電路氧化絕緣層靜電擊穿模型研究

2006年

應用技術

中期階段

成果簡介

該研究為上海市教委重點課題。編號為03IZ01。
在集成度越來越高的電子制造業，靜電放電（ESD）始終是各級各類微電子元器件的重大威脅。全世界每年因ESD引起的ESDS器件（靜電敏感器件）的擊穿、軟擊穿造成的經濟損失，高達100億美元。
目前芯片制造業廣泛使用的人體模型（HBM）、機器模型（MM）、帶電器件模型（CDM）等諸多模型，是在預先設置好元件參數的特...

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集成電路氧化絕緣層靜電擊穿模型研究

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