一種微機械空間光調制器

2016年

應用技術

初期階段

成果簡介

　　本發明公開了一種微機械空間光調制器，屬于微光機電系統技術及光通信技術領域。該光調制器包括一個周期可調光柵和一個微扭轉鏡，所述的周期可調光柵從上到下依次包括光柵器件層6和光柵絕緣層5；所述的微扭轉鏡從上到下依次包括微扭轉鏡器件層3、微扭轉鏡絕緣層2和微扭轉鏡基底層1；周期可調光柵與微扭轉鏡通過光柵絕緣層5和微扭轉鏡器件層3鍵合為一體；本發明的有益效果是：將微扭轉鏡和周期可調光柵集成于一體，可以同...

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一種微機械空間光調制器

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