具有保護環結構的肖特基結核電池及其制作方法

2016年

應用技術

中期階段

成果簡介

　　本發明公開了一種肖特基結的微型核電池及其制備方法，屬于半導體、核物理和微能源領域。該電池的保護環6位于本征i層4上方的勢壘金屬層7外圍環形區域；上電極金屬層8將電信號從鈍化層5和勢壘金屬層7的交界面上引出；鈍化層5覆蓋本征i層4上方除勢壘金屬層7和保護環6之外的所有區域；同位素9覆蓋在勢壘金屬層7上方；本征i層4下方依次為形狀大小一致的n+型半導體層3、歐姆接觸層2和下電極金屬層1。此外，也公...

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