一種薄膜外延生長在線實時表征裝置

2016年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　本發明公開了一種薄膜外延生長在線實時表征裝置，利用拉曼光譜信號對MOCVD設備中薄膜外延生長過程中的納米材料微觀結構進行實時、直接表征。激發光被第一分光鏡反射后，由平凸透鏡聚焦，通過MOCVD反應腔頂部的觀察窗口，將聚焦點照射在外延片上；聚焦點照射區域被激發的拉曼光譜信號由于是在平凸透鏡的聚焦點，因此絕大部分拉曼光譜信號是被平凸透鏡收集到，通過第一分光鏡后，匯聚在聚焦透鏡的焦點上，此時該焦點處...

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一種薄膜外延生長在線實時表征裝置

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