2016年 應(yīng)用技術(shù)
中期階段 現(xiàn)有的多晶硅生產(chǎn)工藝中，三氯氫硅的制備過程由開始的熱氫化技術(shù)的高能耗逐漸轉(zhuǎn)化為近年來采用的低能耗的冷氫化生產(chǎn)技術(shù)，雖然電耗實現(xiàn)了大幅度下降，但是目前采用的冷氫化工藝由于技術(shù)不太成熟，轉(zhuǎn)化效率雖然有一定提升，仍然處于低位，系統(tǒng)平穩(wěn)性差，運行周期較短等。為了適應(yīng)市場的需求，降低生產(chǎn)成本，提升經(jīng)濟(jì)效益，因而有必要提高冷氫化爐的運行效率。
通過對冷氫化工藝的研究和優(yōu)化，以提高冷氫化爐的... 
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