基于液相外延技術制備高氮組分的銦砷氮薄膜的方法

2016年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　基于液相外延技術制備高氮組分的銦砷氮薄膜的方法。該方法將熔源過程分為兩次，第一次熔源將熔源材料In和InAs高溫長時間充分熔融得到初始熔源，第二次熔源時加入InN粉末，通過優化InN粉末的放置方式，既增加了InN粉末在初始熔源中的溶解量及其分布的均勻性，又有效地縮短了第二次高溫熔源時間，減小了氮元素的揮發量，最終獲得了含氮量為0.66％的InAs1-xNx薄膜材料。該發明的優點是制備工藝簡單，...

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