2016年 應用技術
成熟應用階段 一種低溫狀態下元件平面度的測量裝置及測量方法，測量裝置包括激光器、匯聚光學系統、成像光學系統、光電探測器、高精度三維位移平臺、專用杜瓦、杜瓦支架、光學避震平臺及數據處理裝置；被測元件安放于專用杜瓦中；激光器發出的光束通過匯聚光學系統垂直入射于被測元件表面，成像光學系統和光電探測器對激光光斑成像，利用激光三角法測量被測元件表面測量點的微位移；數據處理系統利用質心算法計算激光光斑的位置，控制高精度...
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