一種光學(xué)元件表面缺陷篩查裝置和篩查方法,該裝置的構(gòu)成包括:脈沖激光源、電動位移臺、聚焦透鏡、PIN管、數(shù)據(jù)采集卡、計算機和固定件,待測的光學(xué)元件通過所述的固定件固定在所述的電動位移臺上,在所述的脈沖激光源照射在所述的光學(xué)元件上反射后,在該反射光束方向依次設(shè)置所述的聚焦透鏡和PIN管,所述的PIN管位于所述的該聚焦透鏡的像平面;所述的PIN管輸出的信號經(jīng)所述的數(shù)據(jù)采集卡采集送所述的計算機,所述的...
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