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    用于可見-紫外檢測顯微鏡的成像光學系統

    2016年 應用技術  初期階段
    • 成果簡介
      一種用于可見-紫外檢測顯微鏡的成像光學系統,沿其光軸方向依次包括第一透鏡、第二透鏡、第三透鏡、…、直到第十八透鏡,其中第一透鏡至第四透鏡組成第一鏡組G1,其組合焦距為200mm,第五透鏡至第十八透鏡組成第二鏡組G2,其組合焦距為4mm,物面到像面的放大倍率為1/50倍,物方視場半徑為10mm,實現像方數值孔徑為0.85。本發明全部采用高透過率的i線玻璃,成像質量接近完善成像,并且結構緊湊,完全...

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