環(huán)形拋光機蠟盤面形在線實時測量裝置

2016年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　一種環(huán)形拋光機蠟盤面形在線實時測量裝置，構成包括液壓升降平臺系統(tǒng)、反射鏡系統(tǒng)、擴束鏡系統(tǒng)和主干涉系統(tǒng)。本發(fā)明用于測量環(huán)形拋光機蠟盤面形，具有裝置集成化、測量方便、測量快速、準確和在線實時測量的特點。目前，傳統(tǒng)的環(huán)拋技術是世界上廣泛采用的并且?guī)缀跏俏ㄒ坏拇罂趶饺制矫婊夹g。大尺寸精密環(huán)形拋光機是實現(xiàn)高精度平面加工最有效可行的解決方案，加工的光學元件面形平滑，無高頻殘差，而且加工產品在表面質量和...

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環(huán)形拋光機蠟盤面形在線實時測量裝置

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