微小氣體流量計量標準裝置的研究

2016年

應用技術

中期階段

成果簡介

　　研制一套基于對稱柱塞原理的微小氣體流量計量標準裝置。互通的左右腔體和對稱柱塞的結構使得計量腔體內可以保持氣體溫度、壓力的高度穩定，同時還消除了腔體內部氣體壓力產生的驅動負載，結合開放性的結構，使得裝置可以進行不同氣體不同壓力下的微小氣體流量計量。進行了基于FLUENT的流場仿真實驗，驗證裝置在運動過程中計量腔體內部壓力、溫度的穩定情況，同時進行臨界流噴嘴的建模、檢定過程的仿真以及裝置加速度過程...

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