一種緊湊高效的準擴散弧冷陰極弧源

2016年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　本發(fā)明涉及薄膜與涂層制備技術領域，具體為一種緊湊高效的準擴散弧冷陰極弧源。準擴散弧冷陰極弧源由弧源頭與控制磁場組組成，弧源頭包括靶材、靶材底座、靶材底座屏蔽罩、靶材底盤、引弧裝置和永久磁體裝置，控制磁場組包括法蘭套、法蘭套絕緣套、二極徑向旋轉磁場發(fā)生裝置、軸向聚焦導引磁場發(fā)生裝置、同軸聚焦磁場磁軛和法蘭套屏蔽罩，弧源頭通過靶材底盤與法蘭套底部進行連接，形成整體弧源結構，通過法蘭套前部的法蘭盤與...

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一種緊湊高效的準擴散弧冷陰極弧源

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