SiC合成爐氣體收集系統及氣體收集方法

2016年

應用技術

初期階段

成果簡介

　　本發明涉及一種SiC合成爐氣體收集系統及氣體收集方法，所述氣體收集系統包括放置在SiC合成爐之上的用于氣體收集的收集裝置，用于移動收集裝置的離合行走機構，設置在收集裝置上的檢測分析裝置和均衡泄壓裝置，設置在SiC合成爐爐體四周與收集裝置接觸形成封閉空間的密封連接裝置，密封連接裝置和/或收集裝置上設置有氣體出口。SiC合成爐氣體收集方法包括以下步驟：原料混合，裝爐；收集裝置到位，密封；空氣置換；...

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SiC合成爐氣體收集系統及氣體收集方法

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