Al2O3納米顆粒膜及其在低電壓氧化物薄膜晶體管中的應用

2015年

基礎理論

成果簡介

研究內容：
（1）采用低溫等離子體增強化學氣相沉積（PECVD）技術制備具有質子導電性（≥5.0×10^-4 S/cm）的納米顆粒Al2O3質子導體薄膜。優化PECVD工藝參數并且對Al2O3質子導電進行表面修飾獲得大的雙電層電容（≥5μF/cm^2）。
（2）采用磁控濺射系統制備具有高遷移率（≥30cm^2/Vos）的銦鋅氧（IZO）薄膜。改變工藝...

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Al2O3納米顆粒膜及其在低電壓氧化物薄膜晶體管中的應用

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