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高純（純度≧3N）三氟化氯作為高端芯片加工的新一代綠色環(huán)保型干法原位蝕刻清洗劑，具有其他類型清洗劑不可替代的作用，被國(guó)家列入“兩用物項(xiàng)”。國(guó)內(nèi)高端芯片行業(yè)使用的高純?nèi)热恳蕾囘M(jìn)口，面臨“斷供”風(fēng)險(xiǎn)，是芯片制造典型的“卡脖子”關(guān)鍵材料，其保障程度關(guān)系到國(guó)民經(jīng)濟(jì)穩(wěn)定發(fā)展和國(guó)家安全。
目前，全球能生產(chǎn)高純?nèi)鹊膰?guó)家僅有日本和美國(guó)（純度不高于3N），其生產(chǎn)技術(shù)處于高度保密狀態(tài)，產(chǎn)品價(jià)格居高到每噸近千萬(wàn)元。在中美貿(mào)易摩擦的國(guó)際環(huán)境下，實(shí)現(xiàn)高純?nèi)葒?guó)產(chǎn)化和自主可控是必然選擇。該項(xiàng)目依托國(guó)家科技重大專項(xiàng)（02專項(xiàng)）子課題“圖形化工藝用材料產(chǎn)品開(kāi)發(fā)＿ClF3”，針對(duì)三氟化氯與氟化氫形成極難分離的共氟物系、生產(chǎn)過(guò)程安全隱患和產(chǎn)品分析檢測(cè)三大亟待突破的重點(diǎn)難點(diǎn)和關(guān)鍵共性技術(shù)，歷經(jīng)5年攻關(guān)，終于打破國(guó)外技術(shù)封鎖，形成了完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的工業(yè)化生產(chǎn)成套技術(shù)，推動(dòng)了電子特種氣體行業(yè)的科技進(jìn)步。主要?jiǎng)?chuàng)新成果如下：
1、深入研究了三氟化氯-氟化氫共氟物系氟離子的締合與離散機(jī)理，首次揭示并掌握了氟化氫與氟化鈉、三氟化氯與氟化鈉和氟化氫與三氟化氯之間締合及相互作用規(guī)律，發(fā)明了具有NiF2-NaF構(gòu)型的新型改性氟化鈉吸附劑和“金屬吸附劑層床+低溫精餾”二級(jí)純化技術(shù)，破解了ClF3與HF共氟物系分離的技術(shù)難題，將有害雜質(zhì)氟化氫含量控制在30ppmv以內(nèi)。
2、發(fā)明了無(wú)外接動(dòng)力增壓的四級(jí)溫差驅(qū)動(dòng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)由系統(tǒng)自身為各工藝單元提供動(dòng)力源，顛覆了國(guó)際上三氟化氯工藝系統(tǒng)必須采用膜片壓縮機(jī)或無(wú)油增壓設(shè)備，解決了三氟化氯生產(chǎn)過(guò)程安全隱患的問(wèn)題。
3、發(fā)明了三氟化氯專用耐腐蝕氣相色譜儀，實(shí)現(xiàn)了“一次進(jìn)樣，全組分分離”的高精度定量分析功能，擺脫了國(guó)內(nèi)無(wú)法測(cè)試三氟化氯的困境；設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)了高純?nèi)詣?dòng)氟氣發(fā)生器、三氟化氯合成反應(yīng)艙氟化膜梯級(jí)成形工藝、ClF3鎳基反應(yīng)艙和基于AI算法的精餾塔控制系統(tǒng)，提高了生產(chǎn)過(guò)程的安全性和運(yùn)行的穩(wěn)定性。
4、建立了國(guó)內(nèi)首條三氟化氯工業(yè)化生產(chǎn)線，制備出純度為99.995%的高純?nèi)龋a(chǎn)品比國(guó)際水平高出一個(gè)質(zhì)量等級(jí)。芯片生產(chǎn)企業(yè)采用本項(xiàng)目的三氟化氯原位蝕刻清洗，實(shí)現(xiàn)高質(zhì)、高效和綠色環(huán)保，原料成本大幅下降，完全替代進(jìn)口。
項(xiàng)目獲國(guó)家授權(quán)專利12件，受理發(fā)明專利10件（其中PCT專利3件），計(jì)算機(jī)軟著6件。制定發(fā)布了國(guó)內(nèi)首個(gè)《電子工業(yè)用氣體 三氟化氯》企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)（Q/FJDR 016-2020）。經(jīng)權(quán)威專家組評(píng)價(jià)，該成果形成了自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的高純?nèi)裙I(yè)化生產(chǎn)成套技術(shù)，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白，整體技術(shù)居于國(guó)際領(lǐng)先水平，對(duì)引領(lǐng)芯片產(chǎn)業(yè)蝕刻清洗技術(shù)，解決芯片產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵材料“卡脖子”問(wèn)題，具有重大意義。所研制的高純?nèi)群透呔确治鰴z測(cè)設(shè)備推向了市場(chǎng)，得到用戶高度肯定。近3年研發(fā)產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)直接銷售收入3.61億元，新增利潤(rùn)超過(guò)1億元。同時(shí)為下游芯片制造企業(yè)節(jié)支10億元，產(chǎn)生了顯著的社會(huì)和經(jīng)濟(jì)效益。

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