一種全光場(chǎng)偏振像差檢測(cè)裝置及檢測(cè)方法。該裝置包括:全偏振態(tài)發(fā)生器PSG、全偏振態(tài)分析器PSA及信號(hào)處理和控制系統(tǒng)。該檢測(cè)方法包括:改變法拉第旋轉(zhuǎn)器上加載偏控電壓的大小,進(jìn)行第一次測(cè)量;改變法拉第旋轉(zhuǎn)器上加載偏控電壓的大小,進(jìn)行第二、三、四次測(cè)量;根據(jù)算法對(duì)四次測(cè)量結(jié)果進(jìn)行處理。本發(fā)明具有裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、共光軸且穩(wěn)定、測(cè)量無(wú)需機(jī)械轉(zhuǎn)動(dòng)、算法簡(jiǎn)單、高空間分辨率且測(cè)量速度較快的特點(diǎn)。...
|