2015年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 一種光刻機偏振照明系統(tǒng)光瞳偏振態(tài)測量裝置及其測試方法，光瞳偏振態(tài)測量裝置包括反射鏡、針孔板、成像物鏡、中繼物鏡、相位補償板、1/4波片、1/2波片、沃拉斯頓棱鏡、聚焦鏡、像傳感器。光刻機照明系統(tǒng)的偏振光束入射到反射鏡上，被反射到與照明系統(tǒng)光軸垂直的方向，投射到針孔板上，通過針孔的光束再經(jīng)過成像物鏡和中繼物鏡準(zhǔn)直成平行光束，通過相位補償板、1/4波片、1/2波片，投射到沃拉斯頓棱鏡上，被沃拉...
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