2015年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 一種光刻機投影物鏡偏振像差原位檢測方法，所述檢測方法使用的檢測系統(tǒng)包括光源、照明系統(tǒng)、掩模臺、包含檢測標(biāo)記的掩模、投影物鏡、工件臺、像傳感器、用于掩模臺與工件臺的定位系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)及反饋控制系統(tǒng)。所述的檢測方法采用偏振照明方式并選取大的投影物鏡數(shù)值孔徑進(jìn)行檢測，然后利用像傳感器測量所述檢測標(biāo)記的成像位置偏移量與最佳焦面偏移量，再根據(jù)標(biāo)定的偏振像差靈敏度系數(shù)計算所述投影物鏡的偏振像差。本...
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