高反射率凹面錐形反射鏡的面形檢測方法

2015年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

一種高反射率凹面錐形反射鏡的面形檢測方法，包括以下步驟：制作部分透光平板；在移相干涉儀輸出的平行光束方向依次設置所述的部分透光平板和待測高反射率凹面錐形反射鏡，所述的待測高反射率凹面錐形反射鏡的錐面朝向移相干涉儀的出光方向；調整光路；利用移相干涉儀檢測干涉條紋，得到所述的高反射率凹面錐形反射鏡的面形信息。本發明具有操作簡單，易于測量，對測量件無損傷等優點。...

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高反射率凹面錐形反射鏡的面形檢測方法

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