微加工靜電超聲傳感器的工作機制與理論模型

2004年

基礎理論

成果簡介

該項目研究的主要內容是：對常規機械加工的V型槽傳感器提出空氣彈簧支撐的板模型；對微加工的U型槽傳感器，該研究進一步計及了膜片張力和微米級氣隙的影響，揭示了靜電負剛度的作用，提出了空氣彈簧支撐的張力板模型，準確預測了傳感器的機電聲行為；對坑陣式背板紋理的傳感器，提出了三維描述的空氣彈簧支撐的張力板模型的一般理論，揭示了硅超聲傳感器的復雜工作機制，從而解決了三大基本類型的靜電超聲傳感器的工作機...

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微加工靜電超聲傳感器的工作機制與理論模型

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