微型核電池制作方法

2015年

應用技術

初期階段

成果簡介

本發(fā)明公開了一種微型核電池，主要解決制作核電池易于SiC工藝實現(xiàn)的問題。該微型核電池是在N型高摻雜SiC襯底(1)的上下分別設有低摻雜外延層(2)和歐姆接觸電極(3)，其中，低摻雜外延層(2)的上面淀積圓形肖特基接觸層(4)，該肖特基接觸層的外邊緣圓周上設有SiO2鈍化層(5)和鍵合層(7)。該肖特基接觸層(4)和肖特基接觸電極(6)的形成采用同一工藝，即在SiO2鈍化層(5)的中間位置采...

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微型核電池制作方法

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