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    一種釔鋇銅氧涂層導(dǎo)體前驅(qū)膜的制備方法

    2015年 應(yīng)用技術(shù)  中期階段
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    本發(fā)明公開了一種釔鋇銅氧涂層導(dǎo)體前驅(qū)膜的制備方法,將Y、Ba、Cu三種金屬離子總濃度為1.5mol/L≤c≤2.0mol/L的釔鋇銅氧前驅(qū)液旋涂于已用丙酮超聲清洗過的LaAlO3單晶基片上,涂覆條件為環(huán)境溫度低于30℃和環(huán)境相對濕度低于40%,然后將旋涂好的LaAlO3單晶基片置于管式爐中進行低溫?zé)崽幚恚謮簽?10.5-1228Pa,即獲得均勻完整的釔鋇銅氧涂層導(dǎo)體前驅(qū)膜。該方法制備...

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