含浮動電極的新型微等離子體器件

2017年

應用技術

初期階段

成果簡介

　　本發明公開了一種含浮動電極的新型微等離子體器件，該器件以鋁箔為材料基底，鋁箔上有密集的陣列微腔，微腔內部有一層氧化鋁，作為介質層，如此可形成基本的Al/Al2O3/Al共面型電極結構，微腔兩端尺寸較中間要大，僅在微腔的兩端之間存有氧化鋁，相鄰微腔中間之間剩余有純鋁，并作為浮動電極，這樣就形成完整的微型腔體陣列，同時微腔上下兩側已絕緣開來的兩部分鋁箔基底充當器件的兩個電極，引出上下兩個電極后，整...

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含浮動電極的新型微等離子體器件

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