多晶硅生產含氯硅烷廢氣處理技術研究運用

2017年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　該項目主要是研究一種處理多晶硅生產過程中產生的含氯硅烷廢氣的處理工藝及方法，通過重新設計安裝調試后的一體式三級淋洗裝置達到了國內同行業先進技術水平，自動化程度高，解決傳統處理工藝過程中的著火等安全問題、廢渣難以分離的問題、堿液浪費的成本問題。該系統將原有的處理能力從500Nm3/h提高到2000Nm3/h，將氯化氫和氯硅烷的吸收率分別提高到99.9%和98%，實現對廢氣中氯硅烷、氯化氫的有效控...

相關成果

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5. 多晶硅生產中再生廢氣的提純利用技術
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7. 金川鎳電解高溫高濃度含氯廢氣治理技術集成創新與應用
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9. 再生纖維素纖維生產線廢氣處理裝置
10. 再生纖維素纖維生產線廢氣處理裝置
12. 采用仲氨基α-硅烷生產硅烷改性聚氨酯密封膠的方法
13. 覆銅板生產線中有機廢氣處理的新技術研究與應用
14. 廢氣再處理清潔排放
15. 廢氣再處理清潔排放
16. 注塑機廢氣處理裝置
17. 適于有機廢氣處理的催化燃燒裝置及廢氣處理工藝
18. 金屬表面防護硅烷化處理劑
19. 多晶硅生產中副產物DCS的綜合處理技術
20. 一種烘房廢氣處理裝置

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多晶硅生產含氯硅烷廢氣處理技術研究運用

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