6英寸VGF法鍺單晶片生產關鍵工藝技術研究

2017年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　課題來源：昆明市產業創新重點發展項目；
　　課題背景：高純鍺單晶具有抗輻射、高頻、光電性能等優點，被廣泛應用于能源、光電、國防軍事、航天航空和現代信息產業等高科技領域。近年來，鍺襯底化合物半導體疊層太陽電池憑借較高的光電轉換效率和優良的高溫特性，備受矚目，低位錯密度（≤103cm-2）鍺單晶片成為研制衛星太陽能電池重要襯底材料。
　　隨著太陽能電池產業的發展，鍺襯底高效...

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6英寸VGF法鍺單晶片生產關鍵工藝技術研究

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