2017年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 1、項目提出的背景及意義
1.1 項目提出的背景 SOS（Silicon-on-Sapphire）是一個異質(zhì)外延的過程，即藍寶石晶圓上生長一層硅薄層（典型厚度小于0.6微米）。SOS隸屬CMOS技術(shù)中絕緣體襯底上的硅外延技術(shù) （SOI）。因為與生俱來的耐輻射特性，SOS主要用于航天和軍事應(yīng)用。通常情況下使用的是高純度人工栽培的藍寶石晶體，通常是由加熱分解硅烷，后... 
|
微信公眾號
服務(wù)熱線
微信公眾號
服務(wù)熱線
