一種微橋結構錳鈷鎳氧薄膜紅外探測器及其制備方法

2017年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　一種微橋結構錳鈷鎳氧薄膜紅外探測器件及其制備方法。探測器的微橋結構為一平臺，將錳鈷鎳氧薄膜材料沉積在該平臺上制作紅外探測器，其微橋結構的犧牲層采取直接加熱的方式去除，而無需在錳鈷鎳氧探測元上再沉積一層鈍化層，且犧牲層可以在內部形成拱形的支撐結構，也簡化了制作流程，節約了成本，提高了器件之作的成功率，同時由于其平臺結構強度較高，在紅外器件的諸如涂黑漆、封裝等步驟中不易受損。...

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