一種硒氣壓可控的銅銦鎵硒薄膜硒化裝置

2017年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　一種可控制硒氣壓的制備銅銦鎵硒薄膜的硒化裝置，該硒化裝置由石英腔體、真空系統、氣體流量控制系統、加熱系統和石墨盒構成，其特征在于，石墨盒上除了常規的上蓋以外，還在上蓋中間開孔，并在此開孔中放置一個圓錐體型小蓋子，通過改變小蓋子質量和開孔面積可以調節石墨盒內的硒氣壓。本發明的優點在于：裝置提高了銦鎵硒薄膜固態源硒化過程的可控性、穩定性和重復性。...

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一種硒氣壓可控的銅銦鎵硒薄膜硒化裝置

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