2017年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 一種光刻機(jī)光瞳整形單元結(jié)構(gòu)及其衍射光學(xué)元件的設(shè)計方法，光瞳整形單元包括級聯(lián)衍射光學(xué)元件和變焦距準(zhǔn)直透鏡組。級聯(lián)衍射光學(xué)元件包括第一衍射光學(xué)元件和第二衍射光學(xué)元件，這兩片衍射光學(xué)元件的通光表面均垂直于照明系統(tǒng)光軸，這兩片衍射光學(xué)元件均為純位相元件。所述的級聯(lián)衍射光學(xué)元件的設(shè)計方法，包括以下步驟：相位單元周期的計算；入射光束和確定所需光束的光強(qiáng)分布并進(jìn)行離散化處理；對第二衍射光學(xué)元件和第一衍射光學(xué)...
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