高純硅烷工業(yè)化生產技術

2017年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　本項目以開發(fā)高純硅烷工業(yè)化制備技術為指導，系統(tǒng)研究并開發(fā)以下關鍵技術及裝備：
　　1.全新四氯化硅、冶金硅共加氫制備三氯氫硅工程技術及配套專利裝備
　　流化床反應器內件設計新穎合理，解決了硅粉對反應器的局部磨蝕問題，延長了反應器的使用壽命。采用四級串聯(lián)內置旋風分離器，在確保氣固分離效果的前提下，分離出的固體粉塵自流回反應器內部繼續(xù)參加反應，既避免了外置旋風帶來的物料泄漏...

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高純硅烷工業(yè)化生產技術

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