一種銦鎵砷短波紅外探測器

2017年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　一種銦鎵砷短波紅外探測器。器件結構從上至下依次包括鈍化層，窗口層，吸收層，緩沖層，讀出電路，金屬電極和互連通孔。其中，金屬電極制備在緩沖層上。互連通孔制備在光敏元上，形成一個錐形通孔。互連通孔只與窗口層和讀出電路連通。鈍化層覆蓋了除金屬電極以外的器件表面，同時在互連通孔錐形下半部形成內部絕緣隔離。本器件結構特征在于新型銦鎵砷短波紅外探測器在光敏元上引入一個錐形的通孔，然后在通孔中填充互連金屬連...

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一種銦鎵砷短波紅外探測器

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