用于刻蝕BST薄膜的腐蝕液及制備方法

2017年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　用于刻蝕BST薄膜的腐蝕液及制備方法，涉及一種可刻蝕高溫晶化處理的BST薄膜的腐蝕液，屬于微電子技術領域，特別涉及電子薄膜制備技術中的圖形化過程。本發明其組分中含有HNO3，以體積比計算，BHF∶HNO3∶H2O＝a∶x∶b，其中0.5≤x≤3，1≤a≤2，5≤b≤6。本發明的有益效果是，本發明的腐蝕液能夠較為徹底的腐蝕BST材料，并且邊緣清晰，截面陡峭。...

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