一種多晶硅還原爐底盤和尾氣冷卻系統(tǒng)及其方法

2017年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

　　本發(fā)明公開了一種多晶硅還原爐底盤和尾氣冷卻系統(tǒng)及其方法，涉及改良西門子法多晶硅還原爐和硅烷CVD法多晶硅還原爐底盤和尾氣冷卻工藝設備領域。本發(fā)明包括還原爐底盤冷卻結構和尾氣冷卻結構，所述還原爐底盤冷卻結構與尾氣冷卻結構之間通過法蘭連接；所述尾氣冷卻結構包括尾氣冷卻水入口、尾氣冷卻水出口管和尾氣排氣管；本發(fā)明將底盤冷卻和尾氣冷卻采用不同的溫度的冷卻水，進而將還原爐底盤下的冷卻結構進行改變，改變后...

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一種多晶硅還原爐底盤和尾氣冷卻系統(tǒng)及其方法

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