2017年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 研究開發(fā)一種滿足壓電晶體、半導(dǎo)體硅晶、精密光學(xué)玻璃、磁性材料等脆硬材料的 高精度薄片切割加工的多用途中型多線切割機。包括：
1、高精度工作臺進給系統(tǒng)的研究設(shè)計，采用在線光柵測量系統(tǒng)確保工作臺移動精度精確到微米級； 2、設(shè)計研發(fā)獨立的 主軸軸承座和主軸內(nèi)部循環(huán)冷卻系統(tǒng)，確保羅拉軸系統(tǒng)的溫升恒定，保證軸向位置的定位精度； 3、高精度羅拉軸... 
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