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半導體級高純氣、高純酸、太陽能級高純硅中超痕量金屬雜質檢測方法研究

2015年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

隨著集成電路與新能源產業的高速發展，企業對生產過程中所用高純氣體、高純酸、高純硅等原材料的純度有越來越苛刻的要求。金屬雜質是造成器件性能低劣，成品率低和可靠性差的重要原因之一。因此原材料中金屬雜質的消除與控制是提高產品質量和成品率的重要措施，企業亦急需對高純氣體、高純酸、高純硅等原材料中超痕量金屬雜質的精確定量方法。
本項目為滿足半導體和光伏產業發展需求，開展半導體級高...

相關成果

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半導體級高純氣、高純酸、太陽能級高純硅中超痕量金屬雜質檢測方法研究

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