光刻機偏振照明系統光瞳偏振態測量裝置及其測試方法

2015年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

一種光刻機偏振照明系統光瞳偏振態測量裝置及其測試方法，光瞳偏振態測量裝置包括反射鏡、針孔板、成像物鏡、中繼物鏡、相位補償板、1/4波片、1/2波片、沃拉斯頓棱鏡、聚焦鏡、像傳感器。光刻機照明系統的偏振光束入射到反射鏡上，被反射到與照明系統光軸垂直的方向，投射到針孔板上，通過針孔的光束再經過成像物鏡和中繼物鏡準直成平行光束，通過相位補償板、1/4波片、1/2波片，投射到沃拉斯頓棱鏡上，被沃拉...

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