2015年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 一種光刻機用微透鏡陣列的檢測裝置和檢測方法，檢測裝置的過程包括準(zhǔn)分子激光器，沿該準(zhǔn)分子激光器的輸出光束方向依次是同軸的擴束鏡、能量衰減片、光闌、聚光鏡和圖像傳感器，所述的微透鏡陣列置于二維電動平臺上，所述的微透鏡陣列的后焦面與所述的聚光鏡的前焦面重合；所述的圖像傳感器位于所述的聚光鏡的后焦面，所述的圖像傳感器的輸出端與計算機的輸入端相連。本發(fā)明可以精確測量光刻機照明系統(tǒng)中微透鏡陣列的不均勻...
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