2015年 應(yīng)用技術(shù)
成熟應(yīng)用階段 一種用于投影光刻機的光刻環(huán)形照明模式產(chǎn)生裝置，包括激光源，沿該激光源輸出光束方向依次是第一透鏡、第二透鏡、錐形光束產(chǎn)生器件、平凸錐透鏡，所述的平凸錐透鏡固定在直線位移臺上，該直線位移臺帶動所述的平凸錐透鏡沿激光源輸出光束方向直線運動。本發(fā)明大大簡化了的投影光刻照明系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。本發(fā)明旨在解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，提供一種用于投影光刻機的環(huán)形照明模式產(chǎn)生裝置。該裝置大大簡化了的投影光刻照明系統(tǒng)的...
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