碳凈化爐設備優(yōu)化改造研究

2015年

應用技術

成熟應用階段

成果簡介

多晶硅生產的關鍵設備還原爐內石墨卡頭、石墨卡瓣等是其主要消耗材料，在高純度多晶硅生產的過程中，石墨中的雜質S、P、Ca、Fe、Al等雜質進入多晶硅基體，會影響多晶硅生長的純度質量。目前國內多晶硅行業(yè)沒有成熟的超高純石墨凈化工藝及設備。還原爐使用的石墨部件大都采用高純度石墨棒加工而成，但內部存在的少量雜質對多晶硅產品質量仍有較大影響，尤其石墨里的磷，常規(guī)清洗，甚至采用超聲波處理也很難除去，而...

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