抑制大鏡面像散變形的支撐裝調(diào)方法

2015年

應(yīng)用技術(shù)

初期階段

成果簡介

一種抑制大鏡面像散變形的支撐裝調(diào)方法，先測量含大鏡面的光學(xué)系統(tǒng)的波前畸變或大鏡面的面型輪廓，數(shù)據(jù)擬合得到像散變形的方向、大小。用“十”字形或近似“十”字形的支撐、調(diào)整方法，調(diào)整之后再測前畸變或面型輪廓，數(shù)據(jù)擬合得到經(jīng)調(diào)整的像散變形的方向、大小，若波前畸變較前減小或面型輪廓更靠近設(shè)計(jì)結(jié)果，則沿之前調(diào)整方向再次調(diào)整；若波前畸變較前減小或面型輪廓偏離設(shè)計(jì)結(jié)果，則沿之前調(diào)整的反方向再次調(diào)整。重復(fù)前...

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抑制大鏡面像散變形的支撐裝調(diào)方法

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