2015年 應(yīng)用技術(shù)
初期階段 本發(fā)明公開了一種改變晶片取向的研磨夾具，包括與固定配重桿連接的載荷盤，載荷盤的下方是定位座，定位座是一個中空的開口朝下的圓凹槽，載荷盤和定位座分別開有對應(yīng)的兩個通孔，穿過每對通孔分別設(shè)置有調(diào)節(jié)支撐桿和固定支撐桿，調(diào)節(jié)支撐桿與載荷盤活動連接，固定支撐桿與載荷盤固定連接；在定位座的向下槽沿設(shè)置有研磨墊圈，定位座的空腔中設(shè)置有一個角度偏轉(zhuǎn)盤，角度偏轉(zhuǎn)盤上分別設(shè)置有鉸鏈架和接耳，鉸鏈架與固定支撐桿...
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