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    一種硅棒的多線切割方法

    2015年 應用技術  成熟應用階段
    • 成果簡介
    本發明公開了一種硅棒的多線切割方法,屬于硅棒多線切割成硅片的方法的技術領域,在導輪上安裝切割線形成切割面,硅棒安裝于工作臺上,通過控制切割線的運轉和硅棒與切割面的間距實現硅棒的切割;其切割區噴射有砂漿液。采用小直徑金屬線作為刀具,參與面積小,提高了硅片的出片率,降低了成本;通過改進切削液中乙二醇的純度,提高綠碳化硅金剛砂的燒結硬度,球化顆粒均勻粒度,從而達到在切割時減少了硅片表面的切割缺陷...

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