研究起止時間：

2015.01至2017.12

成果評價單位：

河南省科技廳

成果推薦單位：

中國昊華化工（集團）總公司

成果簡要說明：

三氟化氮作為優良的等離子蝕刻氣體和反應腔的清洗劑，在半導體芯片、液晶顯示器、光纖領域的需求量保持快速增長的趨勢。為提高黎明院三氟化貧產品的競爭力，解決目前存在生規模小、產品穩定性不足、工藝連續性有待提高的問題，我院開展電子級三氟化氮產業化發項目，主要研究內容：化學合成工藝優化、電子氣體深度純化和凈化技術、分析檢測技術、安全及環境技術。

項目通過關鍵研發，在槽結構設計、電解合成低氟化物有效控制、低溫精餾、鋼瓶處理與潔凈灌裝技術、三廢處理等方面實現技術革新，按期順利完成1000a/t年三氟化氮裝置產業化建設和100a/t三氟化氮中試科研裝置建設。

研究所處階段：

成熟應用階段

成果轉讓范圍：

成果評價方式：

驗收

成果完成人：

牛學坤，張景利，魏磊，汪建春，楊亞琴，李梅，趙紀崢，黃曉磊，王娟，高英武，張緒銳，周憲峰，酒坤，付夢月，王亞平

聯系方式

名稱：

黎明化工研究設計院有限責任公司

地址：

河南省洛陽市王城大道69號黎明化工研究設計院

郵編：

471000

電話：

0379-62301577