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    超高真空計是指能夠準確測量10-7Pa以下真空度的精密測量儀器，在高能物理、核聚變、材料、光學、量子物理等高新技術領域應用廣泛。長期以來，超高真空計的高端市場被歐洲、日本和美國等發達國家所壟斷，致使目前國內此類型的真空計完全依賴進口。近年來51O所投入大量人力物力，攻克了真空測量過程中微弱信號檢測、ESD效應限制、材料熱出氣等關鍵技術，成功開發了具有自主知識產權的LIP-UHVG1029型寬量程高精度熱陰極超高真空計產品。
本產品硬件部分采用獨特的工藝與制造技術，消除了電離規在長期運行狀態下的應力變化，減小了測量誤差；在電控部分采用最新的真空電離技術使真空測量下限達到了2×10-9Pa，對氮氣靈敏度達到了0.18Pa-1，最終實現了低真空、高真空、超高真空范圍的真空度精確測量，其主要性能指標達到甚至超過了國際先進水平，填補了國內外同類產品的市場空白。

    本產品基于具有自主知識產權（專利技術：一種真空計收集極離子流檢測電路，極高真空測量中離子流檢測電路以及一種真空電極封接結構）的精確測量技術，使離子流的分辨率達到了10fA，實現了低真空、高真空、超高真空范圍的精確測量，對氮氣靈敏度達到了0.18Pa-1；其次通過規管的工藝處理，攻克了真空測量ESD效應限制、材料熱出氣等影響超高真空性能關鍵技術，其主要性能指標達到甚至超過了國際先進水平。

    本產品技術源于真空低溫技術與物理國家重點實驗室及國防科技工業真空一級站長期以來在真空計量、測量分析等方面的技術優勢，特別在fA級別下的離子流穩定采集以及電離規電離特性具有深厚的研究基礎，在國內外核心期刊、重要會議上發表的相關理論基礎和實踐應用在電子真空行業產生了深遠的影響，在國內行業領域具有絕對的話語權。

    本產品通過標準化的生產條件建設、固化生產工藝來進一步的壓縮制造成本，提高產品的一致性和可重復性，從而提高產品的整體性能、生產能力以及核心競爭力。

    后期可通過技術優化，擴展產品功能，進一步形成全系列真空測量產品，同時依托51O所真空裝備行業優勢，促進市場開拓，占據國內超高真空測量領域的市場空白，形成可觀的經濟效益。

    熱陰極真空計是超高真空甚至極高真空唯一實際可行的真空科學儀器。目前國內超高真空計最高水平的測量范圍為: 10-2Pa-10-7Pa(成都正華ZJ-12 B-A規)；國外超高真空計測量范圍最高水平為: 10-2Pa-10-10Pa( 德國leybold IE514)。本產品研制的線性測量范圍達到2×10-2Pa-2×10-9Pa，可填補國內市場的在10-7Pa-10-9Pa量級上的市場空白。此外，隨著我國高端真空裝備領域的快速崛起，本產品可進一步的替代高端裝備領域中真空測量部分的國外真空計，進一步提高市場知名度和影響力。

    超高真空計主要應用于納米材料、量子、光學、生物分析等基礎科學研究以及加速器、核聚變、高能物理、表面技術等領域的真空測量。據統計，國內需求量達到300-500臺套/年，每年產品銷售額達3000萬左右，超高真空計樣機實測范圍：3×10-2-1×10-9Pa，靈敏度0.18 Pa-1，相比國內超高真空計產品實測10-7Pa量級的測量下限，優于其2個數量級。本產品形成產業化后，其生產成本遠遠低于國外同類型產品，具有較高的性價比和較強的市場競爭力。

    初步向非標超高真空設備配套產品推廣，目前與相關代理商達成初步合作意向，初期產品可投向非標超高真空設備開展試用推廣，主要應用于高能加速器、SEM顯微鏡、表面分析儀器、超導裝置、極端條件科學研究。

    通過超高真空計的研制生產，打造高性價比的品牌形象，在行業內形成知名度；其次進行產品升級優化，形成全量程真空測量儀器的生產加工能力，真空計年產量可穩定在數千套，年產值將達到數千萬人民幣，同時，以“產品+校準檢測服務”模式，帶動相關真空產品的產業化發展，擴大我所在民用市場的占有份額，促進軍民融合發展。
本產品于2018年積極主動聯系目標客戶，在中國科學院近代物理研究所、合肥等離子體研究所的相關科研項目中實現了試用，取得良好的效果，得到了客戶的認可。

    

    

    

2018年8月底，本真空計產品在中國近代物理研究所某加速器裝置上進行了長時間的試用，形成了以下的試用結論：
在中國近代物理研究所完成了與國外真空計的比對試用，測量結果顯示該真空計可以實現超高真空范圍內壓力的精確測量，具備國外產品的完全替代性，后期在科學研究、型號任務及民用產業中具有廣泛的應用價值和顯著的社會效益。