納米標準物質/標準樣品制備過程中的調控規律和計量定值

2017年

基礎理論

成果簡介

　　（1）通過標準裝置建立，測量方法與不確定度分析，以及標準物質定值的研究，建立了完整的納米測長溯源體系、納米膜厚測量溯源體系，解決了原子力顯微鏡，掃描電鏡、臺階儀、橢偏儀等納米測量儀器橫向與縱向長度測量的校準與溯源，填補國內空白。通過國際比對獲得國際等效一致的測量結果，通過標準物質量傳值實驗室測量設備，為國內量值統一提供了保證。例如：為半導體產業代表企業中芯國際提供測量服務，支持集成電路產業...

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納米標準物質/標準樣品制備過程中的調控規律和計量定值

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