| 項目名稱 |
| 一種清洗方法在多晶硅裝置上的應用 |
| 主要完成單位 |
| 藍星環境工程有限公司 |
| 協作單位 |
|
| 主要完成人 |
| 焦永濤、王波、邢朝政、王曉琴 |
| 獎勵名稱 |
| 科學技術獎 |
| 獎勵等級 |
| 三等獎 |
| 獎勵年份 |
| 2010 |
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