| 項目名稱 |
| 一種多晶硅裝置的清洗方法 |
| 主要完成單位 |
| 北京藍星清洗有限公司 |
| 協作單位 |
|
| 主要完成人 |
| 焦永濤，王波，邢朝政 |
| 獎勵名稱 |
| 專利獎 |
| 獎勵等級 |
| 優秀獎 |
| 獎勵年份 |
| 2018 |
| 專利號 |
| ZL200810115557.4 |
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