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　　項目涉及電子級三氟化氮、六氟化硫和四氟化碳的生產技術，屬于精細化學品領域。
　　含氟電子特種氣體作為新型信息用氣體材料，是光電子、微電子等領域，特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、薄膜太陽能電池、光纖產業、半導體發光器件和半導體材料制造過程不可缺少的基礎性支撐原材料，同時也是特高壓交流輸變電成套裝備技術、特高壓直流輸變電成套、智能電網輸配電成套裝備技術等電器電工技術研發領域良好的絕緣保護氣體。
　　項目實施過程中，主要開展了如下工藝技術研究：
　　1、開展了三氟化氮、六氟化硫、四氟化碳等反應過程的工程放大技術研究。解決放大過程溫度、電解電流、原料配比等參數對反應速率、產物收率、粗產品濃度含量的影響，確定電槽、反應器最佳結構形式和主要性能參數。
　　2、開展了多級純化凈化單元的系統集成技術研究。解決工程放大對各單元脫除有害雜質的提純凈化深度的影響，優化各純化單元配置和全過程控制參數。
　　3、開展了電子氣體痕量雜質的定性定量分析檢驗方法研究。解決了目標氣體在線和產品分析檢測方法和關鍵技術，提出各種雜質成分在線和產品檢測的具體方案，完成分析系統的配備。
　　4、開展了三廢處理及回收技術研究。對生產過程中產生的含氟廢氣、廢水和廢渣進行深入研究，確定環保、經濟的三廢處理和回收再利用工藝。采用綜合利用技術，對互為雜質的氟化物進行優化利用，既可達到對三廢的綠色環保排放，又可以實現回收再利用。
　　本項目實施過程中，共申報國家專利8項，已獲授權4項。
　　本項目在完成電化學合成技術、深度純化和凈化技術、分析檢測技術、安全及環境保護技術研究的基礎上，完善和建立了3條特種含氟電子氣體生產線。技術指標達到國外同類產品同期先進水平，形成400噸/年電子級三氟化氮（99.99％）、800噸/年電子級六氟化硫（99.999％）、200噸/年四氟化碳（99.999%）的生產能力。2011年下半年銷售產品650余噸，銷售額達到7000萬，利潤2000萬，其中出口482噸，創匯453萬美元。預計項目產業化全面實施后可實現年產值1.8億元，利潤6500萬元，利稅4000萬元。其中高純度的電子級三氟化氮、六氟化硫和四氟化碳作為在未來幾年內薄膜太陽能行業、液晶顯示屏及高壓設備等相關行業中使用的主流清洗、蝕刻和絕緣氣體，需求將會出現大幅上升趨勢。
　　項目的實施，完善了黎明化工研究院特種含氟電子氣體的產品結構，使之成為國內外知名的可同時開展多品種特種含氟電子氣體生產的廠家，提高了國內該領域的技術水平，增加了行業競爭力。目前生產的電子級三氟化氮、六氟化硫和四氟化碳產品滿足了國內客戶的需求，占據了國內30%左右市場份額，此外純度和各項指標已經達到國際先進水平，取得了國際上知名氣體公司和使用客戶的認可，并抓住了有利時機，創建了國內特種含氟氣體的自主品牌，躋身國際級氣體供應商行列。
　　

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